Podstawowe wyposażenie zautomatyzowanej linii produkcyjnej PR Cleaning dla producentów wyświetlaczy LCD
Zautomatyzowana linia produkcyjna do czyszczenia PR (fotomasy) jest podstawowym sprzętem do mokrego procesu w produkcji wyświetlaczy LCD. Stosuje się go głównie po procesie fotolitografii na podłożu matrycowym w celu dokładnego usunięcia pozostałości fotomaski, pozostałości po trawieniu i mikro-zanieczyszczeń powierzchniowych. Jest to kluczowy sprzęt zapewniający precyzję obwodu panelu i poprawę wydajności produktu. Idealnie nadaje się do rygorystycznych warunków produkcyjnych w pomieszczeniu czystym klasy 100, zapewnia wysoką-precyzyjną, zautomatyzowaną i wolną od zanieczyszczeń-obiegową-obieg zamknięty.
Ukierunkowując pozostałości fotorezystu pozytywowego i negatywowego po procesie fotolitografii, wykorzystuje-wieloetapowe czyszczenie ultradźwiękowe + proces płukania przelewowego czystą wodą w celu głębokiego usunięcia zanieczyszczeń, zanieczyszczeń organicznych, cząstek pyłu i innych zanieczyszczeń pozostałych po trawieniu fotolitograficznym. Może dokładnie usunąć mikroskopijne pozostałości poniżej 0,5 μm, zapobiegając defektom, takim jak otwarte obwody panelu, jasne plamy i plamy Mura spowodowane zanieczyszczeniami. W połączeniu z precyzyjnym systemem filtracji o wysokości-0,1 μm zapobiega to wtórnemu zanieczyszczeniu. Zapewnia dokładne usuwanie-bez uszkodzeń, unikając wpływu resztek warstw kleju na późniejsze procesy trawienia i powlekania, przy współczynniku pokrycia usuwania wynoszącym 100%.
Wbudowany-moduł kontroli elektrostatycznej ESD ściśle kontroluje wartość elektrostatyczną w zakresie mniejszym lub równym ±100 V. W połączeniu z antystatycznym materiałem-wnęki i-bezkontaktową technologią dostarczania koła magnetycznego, pozwala to uniknąć wyładowań elektrostatycznych powodujących uszkodzenie precyzyjnych obwodów panelu, a jednocześnie zapobiega zadrapaniom, odpryskom i powstawaniu kurzu w wyniku tarcia o szklane podłoże, maksymalizując w ten sposób ochronę integralności podłoża.
Komora testowa o stałej temperaturze w wysokiej i niskiej temperaturze
Trzon zautomatyzowanego wyposażenia linii produkcyjnej do czyszczenia i suszenia dla producentów ekranów LCD obejmuje podwójny tryb suszenia: cięcie nożem powietrznym i suszenie gorącym powietrzem w stałej-temperaturze. Pozwala to szybko usunąć plamy wodne z powierzchni podłoża, zapewniając-bezśladowe i śladowe-schnięcie. Po wyschnięciu wilgotność powierzchni podłoża zbliża się do zera, umożliwiając bezpośrednie przejście do kolejnego procesu bez wtórnej obróbki, zapewniając ciągłość procesu. System sterowania PLC umożliwia w pełni zautomatyzowaną-pętlę załadunku, pozycjonowania, czyszczenia i rozładunku. Obsługuje monitorowanie-w czasie rzeczywistym i funkcje alarmowe w celu regulacji stężenia roztworu czyszczącego, temperatury, wilgotności i czystości. Uszczelniona komora i gradientowe podciśnienie zapobiegają wyciekom gazów chemicznych. W połączeniu ze środowiskiem nadciśnieniowym pomieszczenia czystego klasy 100, umożliwia także recykling ultraczystej wody oraz klasyfikację i odzysk cieczy odpadowych, spełniając wymogi zarówno w zakresie oszczędności energii, jak i ochrony środowiska.
W porównaniu do tradycyjnego czyszczenia ręcznego, w pełni zautomatyzowane linie produkcyjne do czyszczenia PR mają niezastąpione zalety: wydajność czyszczenia wzrasta ponad 3-krotnie, a na zmianę można przetworzyć blisko 10 000 podłoży szklanych, co znacznie skraca cykl procesu; konsystencja czyszcząca jest doskonała, dokładnie usuwa mikro-pozostałości mniejsze niż 0,5 μm, kontrolując współczynnik defektów panelu z dokładnością do 0,5 ppm, skutecznie unikając defektów, takich jak jasne i ciemne plamy oraz przerwy w obwodzie na ekranie; w sprzęcie zastosowano konstrukcję-oszczędzającą wodę i energię-, charakteryzującą się wysokim współczynnikiem odzysku czystej wody oraz zbieraniem i oczyszczaniem ścieków sklasyfikowanych, spełniając wymogi produkcyjne w zakresie ochrony środowiska; cała maszyna jest wykonana z-odpornego na korozję PCV i stali nierdzewnej SUS304, ma mocne uszczelnienia, jest łatwa w czyszczeniu i konserwacji i nadaje się do 2410godzin ciągłej pracy w pomieszczeniach czystych, stając się standardowym wyposażeniem dla producentów ekranów LCD, umożliwiającym tworzenie linii produktów wysokiej klasy i zwiększanie podstawowej konkurencyjności.
Podstawowe wyposażenie warsztatu fotolitograficznego producentów wyświetlaczy LCD
Sprzęt do naświetlania jest podstawowym wyposażeniem warsztatu fotolitograficznego i kluczowym obszarem procesowym w procesie produkcji matryc LCD. Znana również jako maszyna do litografii panelowej, jest-precyzyjnym urządzeniem optycznym do mokrego procesu. Jego główną funkcją jest przeniesienie wzoru obwodu podłoża na podłoże szklane pokryte fotorezystem poprzez naświetlenie optyczne, które ma kluczowe znaczenie dla tworzenia mikro-obwodów w panelu. Precyzyjne przeniesienie układu obwodu z fotomaski na podłoże szklane jest warunkiem koniecznym dla kolejnych procesów trawienia, powlekania i czyszczenia PR, bezpośrednio determinujących jakość ekranu wyświetlacza. W sprzęcie zastosowano-bezkontaktowy proces naświetlania, odpowiedni dla-dużych rozmiarów i cienkich szklanych podłoży LCD, co pozwala uniknąć zarysowań, uszkodzeń i zanieczyszczeń podłoża.
Do najważniejszych osiągnięć technologicznych zalicza się wysoce-precyzyjny system wyrównywania z dokładnością nakładania na poziomie mikrona- lub nawet poniżej{2} mikrona-, zapewniający zerową niewspółosiowość w wielo-warstwowym układaniu obwodów z błędami kontrolowanymi z dokładnością do kilku tysięcznych średnicy włosa; zastosowanie źródła światła o równomiernej ekspozycji i technologii dynamicznego ogniskowania w celu uzyskania wahań energii ekspozycji<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
W całym warsztacie zastosowano źródło monochromatycznego, żółtego światła o długości fali 589 nm, które całkowicie odfiltrowuje-światło o krótkiej długości fali, takie jak ultrafiolet, światło niebieskie i białe, zapobiegając przedwczesnemu wywołaniu przez te promienie reakcji fotochemicznych w fotomasce, powodując fatalne defekty, takie jak niewspółosiowość wzoru, niekompletne linie, zwarcia i otwarte obwody. System oświetlenia wykorzystuje kombinację dedykowanych żółtych diod LED i dwuwarstwowych-filtrów, które zapobiegają wyciekaniu światła rozproszonego; drzwi, okna i okna obserwacyjne są wyposażone w materiały filtrujące-ultrafioletowe; W warsztacie surowo zabrania się używania telefonów komórkowych, aparatów fotograficznych,-latarek o dużej mocy i innych zewnętrznych źródeł światła, a wdrożono-pełną kontrolę oświetlenia obszaru, aby wyeliminować ryzyko przedwczesnego naświetlenia fotomaski ze źródła.
Wprowadzenie do pomieszczeń czystych klasy 100 dla producentów wyświetlaczy LCD
W dziedzinie-precyzyjnej produkcji wyświetlaczy LCD pomieszczenia czyste klasy 100 (pomieszczenia czyste klasy ISO 5) są głównym zakładem produkcyjnym i kluczowym wskaźnikiem siły technicznej producenta i wydajności produktu. Są one szeroko stosowane w kluczowych etapach procesów, takich jak macierz, montaż ogniw i pakowanie modułów, przez wiodące firmy produkujące wyświetlacze, takie jak BOE, TCL CSOT, HKC i Tianma. W tych pomieszczeniach czystych obowiązują rygorystyczne standardy czystości, w których nie znajduje się więcej niż 100 zawieszonych cząstek pyłu o średnicy większej lub równej 0,5 μm na stopę sześcienną powietrza (mniejszej lub równej 3520 na metr sześcienny). Ten poziom czystości znacznie przewyższa poziom czystości w medycznych salach operacyjnych, służąc jako „twarda bariera” zapobiegająca zakłócaniu precyzyjnych procesów przez kurz, elektryczność statyczną i zanieczyszczenia chemiczne. Jest to podstawowy element sprzętowy bezpośrednio określający jakość obrazu, żywotność i wydajność ekranu.
Warsztat został zaprojektowany i zbudowany ściśle według międzynarodowych i krajowych norm ISO. Przyjmuje pionowy, jednokierunkowy tryb przepływu powietrza w połączeniu z cztero-stopniowym systemem filtracji ULPA (filtr-wstępny, filtr o średniej-wydajności, filtr o wysokiej-wydajności i filtr o ultra-wysokiej-wydajności), osiągając skuteczność filtracji do 99,999%, zapewniając natychmiastowe usuwanie kurzu i eliminując martwe strefy przepływu powietrza. Jednocześnie osiągana jest precyzyjna kontrola środowiska we wszystkich wymiarach: stała temperatura 23±1 stopnia, wilgotność względna kontrolowana na poziomie 45%-55%, nadciśnienie utrzymywane w czystym obszarze oraz różnica ciśnień większa lub równa 10Pa pomiędzy sąsiednimi obszarami, całkowicie uniemożliwiająca przenikanie pyłu zewnętrznego; biorąc pod uwagę podatność paneli wyświetlaczy na uszkodzenia elektrostatyczne, stosuje się-statyczną, samopoziomującą podłogę epoksydową, a na ściany i sufity stosuje się płyty ze stali nierdzewnej 304 i stali w kolorze przeznaczonym do pomieszczeń czystych, przy ścisłej kontroli wartości elektryczności statycznej w trakcie całego procesu; zapewniona jest dodatkowa kontrola-zanieczyszczeń chemicznych na poziomie molekularnym LZO i utajonych zakłóceń, takich jak mikrowibracje, co pozwala spełnić wymagania procesów w skali nano, takich jak fotolitografia, osadzanie cienkich warstw i wtryskiwanie ciekłych kryształów.
W warsztacie zastosowano wielopoziomowy projekt podziału na strefy pomieszczeń czystych, podzielony na obszar główny klasy 100, obszar buforowy klasy 1000 i obszar pomocniczy klasy 10 000, z warstwami zapobiegającymi-zakażeniom krzyżowym, a linie personelu i zautomatyzowanych przenośników materiałów są całkowicie oddzielone. Personel musi przejść potrójny proces: zmiany ubrania, natrysku powietrznego i wykrywania ładunków elektrostatycznych. Może wejść dopiero po założeniu zakrywającego całe ciało kombinezonu do pomieszczenia czystego,-bezpyłowych rękawiczek i okularów ochronnych. materiały są przenoszone przez zblokowane okna transferowe i poddawane obróbce polegającej na usuwaniu kurzu i elektryczności statycznej; wnętrze jest wyposażone w okapy z przepływem laminarnym FFU, liczniki cząstek online, czujniki temperatury i wilgotności, monitory różnicy ciśnień i inny sprzęt umożliwiający całodobowe monitorowanie w czasie rzeczywistym i identyfikowalność danych, a także natychmiastowe wysyłanie ostrzeżeń i wprowadzanie korekt w przypadku nieprawidłowych wskaźników, aby zapewnić ciągłą stabilność środowiska.
